イオンポンプ ターボ分子ポンプ クライオポンプ 油拡散ポンプ 流体 粘性流 分子流 コンダクタンスの影響 小 大 排気径 小 大 フランジ例 nw1640 icfエドワーズバキューム / イギリス Edward Vaccum社製のPolycoldはパテントをもつ自己制御型カスケードタイプの冷凍機で、市場では最も高く評価されています。 この最新式の技術を応用した冷凍機は半導体、光通信、フラットパネルから航空・宇宙産業、天体作動原理 水蒸気は130K以下であれば、蒸気圧は108 Pa以下となり、80K以下に冷却された シールドとバッフルで排気されます。 （下図蒸気圧曲線参照） このように水分子が理想的に排気されるため、クライオポンプは水に対して大きな 排気速度を持っています。
中性粒子入射加熱の原理
